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基于本公司专利的纳米级粒度标准物质。
面向半导体及相关产业客户的产品。
本产品为高浓度样品， 需稀释后再行使用，稀释操作推荐使用 Kanomax精准稀释系统（PDS MODEL 9210）。

提供：
 

National Institute of Standards （NIST）认定的聚苯乙烯(PSL)纳米级粒度标准物质。
Europiean Reference Materials(ERM)认定的胶体二氧化硅。

【应用范围】
•校正光学粒子测定仪（OPC, LPC)的测定粒子径及粒子数。
•测试过滤器的过滤效率。
•进行晶圆的沉积实验。

【产品特性】
• 由于高浓度，与稀释后的标准粒子相比，可抗污染。
• 浓度误差：±10%
• 批次误差：±5%
• 保修期限：6个月。

National Institute of Standards （NIST）认定的聚苯乙烯(PSL)纳米标准粒子（PSL)，提高容积125ml的产品，双对数坐标-3的浓度梯度。

•16种聚苯乙烯(PSL)纳米标准粒子，20～300nm
•13种聚苯乙烯(PSL)纳米标准粒子，20～220nm
•10种聚苯乙烯(PSL)纳米标准粒子，20～125nm

Europiean Reference Materials(ERM)认定的胶体氧化硅，提供·粒径10、20、30、50、90nm。现有容积125ml和8ml的产品。
本公司产品ScanningTPC，请使用10、20、30nm的产品。