名称 | 精准稀释系统 |
型号 | 9210 |
工作液 | PSL和用于稀释胶体二氧化硅浓度超纯水(UPW) |
超纯水进水口 | (上述以外的溶剂使用可否,请咨询我方) |
排水口 | 1/4英寸(6.35 mm)扩口接头 |
OPC/LPC流量 | 1/2英寸(12.7 mm)世伟洛克接头 |
最大稀释度 | 10~1,000 ml/min |
最高水温 | 20,000倍(随高纯水流量而变) |
泵管 | 35℃ |
进水压力 | 内径0.64 mm Tygon圣戈班管 |
主要液体接触部的材质 | 138~481 kPa,20~70 psi(注意:需要恰当的排水) |
工作环境温度 | PFA铁氟龙® |
工作环境相对湿度 | 15~35℃ |
电源 | 0~80% |
外形尺寸(mm) | 100~230 VAC 50/60 Hz,20 VA |
重量 | 宽220(安装搁板时为321)x 深 279 x 高 320 mm |
约8公斤 |