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MODEL 9410

NanoSpotlight System 纳米颗粒高效采样系统

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    9410型纳米颗粒高效采样系统使用特殊的雾化器和冷凝技术高效收集UPW中的纳米颗粒
     
    【应用范围】
    ・UPW系统的污染测试
    ・过滤器的维持测试
    ・颗粒测量装置的校正
     
    如果在半导体制造工艺中,测出数十个纳米级颗粒的话,则必须判定该颗粒的元素组成。
    当该颗粒的举动影响到半导体制造设备中的质量时,分析该污染颗粒的组成将了解现象的原因及解决方法。
    选用SEM或其它传统的分析方法,在25 mm过滤器上收集粒子所需时间较长(通常以周为单位),而长时间的分析操作势必影响生产运行。通常,NanoSpotLightTM在24小时内即可完成测定,堪称SEM的明智选择。
     
  • Nano Spotlig系统中,使用纳米颗粒抽取器(Nano Particle Extractor, NPE, 图1)产生超纯水(UPW)的液滴分布。每个液滴干燥后的颗粒将导入纳米颗粒收集器(Nano Particle Collector, NPC 图2)中最后沉积在收集板上。
     
    可提供将直径为1英寸(25.4mm)的硅晶片或聚碳酸酯安装在SEM样品台上的收集板。(图3)
    通过收集表面的进行导电涂层处理,SEM的操作技术人员,可在晶片的正中心处容易找到颗粒集聚点,并测量5nm的小颗粒。
     
    同时通过能量分散型X 线光谱仪(EDS/RDX)测量污染的元素组成。
     
    【应用实例】图4:离子交换树脂中的释放物的SEM/EDX分析
    通过使用Nano SpotLight TM系统,从含有离子交换树脂释放出的成分元素的超纯水中抽取颗粒。通过纳米颗粒抽取器从水分中提取Ca,P和Na,通过纳米颗粒收集器沉积在SEM样品台上,使用SEM/EDX进行分析。新树脂设置时“典型的”颗粒形成的测绘,可以通过离子交换树脂的脱落特性及监测寿命预测的结果,获得有用的信息。
产品详情
名称 粒抽取器(NPE)
型号 9410-00
粒峰粒径 1.0 μm以下(通常粒径0.2μm)
10nm以上液滴数 粒径个数(dN/dLogDp)×10 - 5
检测 2~3 μL/min
液体流量(在线 50~200 m L/min
化器流量(直接流量) 0.5~3.0毫升/分
气溶胶流量 1.0~1.5升/分
对浓化的响应时间 <90秒内
力(在线 200~500 kPa(29~72 psig)
压缩空气流量/ 3 std L /min C DA(清干燥空气)或氮气(345-414 k P a,50-60 p si)
液体接触部材料 PFA®,PTFE,宝石,316 L不锈钢,PEEK
工作境温度 15~35°C
工作境湿度 0~85%无冷凝
最高水温 60°C
外形尺寸 W23×H23×D35.5(有46)m m
重量 6公斤
100~240 VAC 5 0/60 Hz最大90 W
Modbus的RJ-45,USB
内部存储设备 Micro S D
1/4英寸(6.35 m m)PFA Flaretek®
排水口 1/4英寸(6.35 m m)SS S wagelok®
压缩空气入口 1/4英寸(6.35 m m)SS S wagelok®
真空检测 1/4英寸(6.35 m m)SS S wagelok®端口
示屏 3.5英寸TFT彩色触摸屏


名称 粒收集器(NPC)
型号 9410-01
粒径范 5n m~2.5μm
收集效率 > 9 5%
上限 1×104/cm3
冷凝液 纯净水或超
品流量入口 1.0升/分
品气溶胶状 0~40°C(无腐
连续收集时间 每个洞可以置1分到24小
收集点直径 0.5 m m
传输方式 USB(采参数,境数据等)
工作 温度15~30℃,湿度10~95%RH
品入口 6 m m O D,SUS
100~230 VAC / 5 0-60 Hz;最大140 W
外部尺寸 W305×H500×D255 m m
重量 本体6.8 k g,连续点收集模:1.1 k g


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