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粒子计数,分析仪器(粒子分析仪器)

KANOMAX研制的高分辨率小型多次环绕飞行时间型质谱仪“infiTOF”,可以测定气体中所含数十ppb的微量成分,并可以胜任其他质谱仪难以应对的领域,包括分子、化合物的结构分析,同位素精密质量分析等。
 
本产品通过小型化设计,更便于在半导体制程中,对生产现场产生的各种气体进行实时监测。
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